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如何选择高纯气管及附件材料?

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如何选择高纯气管及附件材料?

发布日期:2022-03-01 作者: 点击:

  包头气体高纯度气体通过管道运输。能否将高纯度气体送至用气点的关键是供气系统规划合理,管件及附件选择正确,施工安装正确,实验检测合格。对于高纯度气体管道运输管道,应根据工艺流程对气体纯度、允许的杂质含量和颗粒含量有不同的要求,选择相应质量的管道。例如,由于半导体行业生产工艺复杂,加工精细,不仅需要清洁的生产环境,而且对生产过程中所需的不同高纯度气体也有具体严格的要求。从微米技能到亚微米、深亚微米(小于O.35g.m)技能,对气体中的杂质含量和水含量要求极其严格。10(ppm级)现在无法满足要求,需求达到10(ppb级),甚至101~2(ppt级),尘埃粒径需要控制到0.05-0。因此,运输管道数据本身是需要的。


  2.1管道数据特性。


  对于高纯气体管道的运输,影响气体质量的管道数据的主要特点是气体渗透性、出风率、吸附性、外观粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性。


  21.1气体浸透性。


  气体从压力(或压力)高的一侧流入压力(或压力)低的一侧。由于空气中氧气和氮气的压力较大,气体分子相对较小较大,气体分子相对较小,管道数据对气体的渗透性主要表现为氧气和氮气的渗透性,氧气的渗透性测试一般较多。大气中氧气浸透(ppm)不锈钢管O铜管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12一般钢管203。


  从表中可以看出,对于运输ppm级和高纯度要求的气体,有从气体浸透的角度选择不锈钢管或钢管。如果我们不恰当地选择不符合要求的管道数据,无论我们采用什么净化方法,都将无济于事。


  2.1.2出风率。


  数据冶炼过程中形成的管道数据晶间可能存在氮、碳氢化合物等杂质。在高纯气体运输过程中,这些杂质会缓慢释放,污染高纯气体,是PPB以上的高纯气体。通常,低碳不锈钢管的出风率很低。


  2.1.3吸附。


  因为水和其他杂质是极性分子,所以它们具有很强的吸附性。橡胶、塑料或一些粗糙的材料容易吸收水和其他杂质,铜对水有很强的吸附,使用这些材料运输高纯度气体容易污染,除了运输PPM以下氧气将使用铜管,高纯度气体不选择铜管和塑料管,气体接触垫片,填料不选择橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。


包头气体


  2.1.4外观粗糙度和耐磨性。


  为了保障运输气体的纯度,管道数据的内部和外部需要很高的亮度,以防止污染颗粒和水分滞留在管壁上,并且在吹扫过程中相对简单。管道相对明亮耐磨,在高速气流冲刷下,金属颗粒较少,不锈钢比铜管颗粒较少,因此不锈钢管的耐磨性优于钢管。


  2.1.5耐腐蚀。


  在微电子生产中,一些腐蚀性好的气体经常被使用。此时,有选择耐腐蚀的管道,否则管道会被腐蚀,从外观上的锈斑到大面积脱落和穿孔,这不仅会污染气体,还会发生安全事故。


  2.1.6内外表处理。


  为了进一步提高管道数据的特性,一般有三种方法来处理管道的内外表面:酸洗钝化(AP)、亮光退火(BA)和电解抛光(EP)。实验数据和实践证明,外观处理后。管道数据粗糙度降低。出风率降低。外观吸附性减弱。


  2.2管道数据及连接。


  纯度在规定以内的气体管道选用10#或20#无缝钢管(内外镀锌或纯化处理)和铜管。镀锌管采用螺纹连接。总杂质含量≤10-100ppm的气体管道选用304不锈钢亮光退火管(304BA)、304不锈钢管纯化处理(304AP)管。管道采用焊接连接,可选用对接焊、承插焊或套管焊接。总杂质含量≤1-1oppm的气体管道选用316L不锈钢亮光退火管(316LBA)和304不锈钢电抛光管(304EP)。管道连接采用焊接,


  内壁无疤痕对接焊,高纯氩保护焊。对于总杂质含量≤LPPM的高纯气体管道,有选择316L不锈钢电抛光管(3L6LEP)。管道连接采用焊接,内壁无疤痕对接焊,高纯氩保护焊在洁净室进行。


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